FSM2-NAF102-A153B，FSM2-NAF101-S083B

FSM2-NAF102-A153B，FSM2-NAF101-S083B
日本CKD流量传感器・控制器
日本CKD气体用小型流量传感器Rapiflow（R）
双画面双色显示气体用小型流量传感器。备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
： 保护气体，检查，理化分析设备
FSM2-A 显示分离型 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 
FSM2-N 显示一体型（开关输出NPN 2点、模拟输出1点） 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 
FSM2-P 显示一体型（开关输出PNP 2点、模拟输出1点） 0.5～1000 4～10, 1/8, 1/4, 1/2
■大流量、小体积】
流量范围：0.5～1000ℓ/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。
■无需直管部位】
内置新的整流机构，上游侧和下游侧均无需直管部位，可自由设置。
■双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。
■高速响应】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现50m/sec的响应速度。
■洁净规格】
标配有P70（防止发尘）、P80（禁油规格）产品。
适合半导体、液晶制造域的用途。
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF050-H061B
FSM2-NVF501-A153
FSM2-NVF101-S081
FSM2-NVF100-H04
FSM2-PVF500-H06
小型流量传感器 Rapiflow
显示一体型/显示分离型 FSM2 Series
● 树脂阀体型（流量范围：500mℓ/min～200ℓ/min）
● 铝阀体型（流量范围：500ℓ/min、1000ℓ/min）
● 不锈钢阀体型（流量范围：500mℓ/min～200ℓ/min）
使用压力0.7MPa
低使用压力-0.09MPa
耐压1MPa
使用环境温度·湿度0～50°C，90%RH以下
流体温度0～50°C（不得结露）
使用范围单向型：3～100％F.S.，双向型：-100～-3％F.S.，3～100％F.S.
直线性（显示·模拟输出） ±3%F.S.以内（2次侧大气开放）
压力特性±5%F.S.以内（-0.09～0.7MPa，2次侧大气开放基准）
温度特性±0.2%F.S./°C
以内（15～35°C、25°C基准）
重复性±1%F.S.以内
消耗电流 注10 50mA以下
导线φ3.7 相当于AWG26×5芯（接插件连接），绝缘体外径φ1.0
具备功能流量显示、流量显示峰值保持、开关输出
模拟输出 等安 装安装方式纵、横自由
导入直管部位不需要
防护等级IEC标准 相当于IP40
保护回路 注11 电源逆接保护、开关输出逆接保护、开关输出负荷短路保护
FSM2-NAF102-A153B，FSM2-NAF101-S083B