SMC冷冻式温控器HRZ002-W,循环液温调装置HRZ008-W1 HRZ008-W-Z循环液温调装置 冷冻式温控器 氟化液型 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能，多用于半导体工艺设备 适用于各种安全标准 符合UL, SEMI标准、CE规格 冷却能力 008 8kW 设定温度范围 W -20～90℃ 可选项 Z 循环液自动回收功能