SMC出气阀，XVD2-02S系统参数

SMC出气阀，XVD2-02S系统参数
双方zui初的送风流量
和主供气能
进行调整。
主要材料
内表面处理
工作压力（MPa）
先导气口尺寸
质量（kg）
常闭（加压打开，弹簧密封）
氮气，空气，惰性气体等。
5〜60℃（烘烤温度为150℃或更低）
为0.2MPa（G）1×10-6（）
Ø3
4.6
0.24.6
四分之一
身体：不锈钢316L，主要部分：不锈钢316L，不锈钢304，FKM（密封材料）
身体的EP治疗
0.4〜0.7（两个主与zui初的供料阀）
M5×0.8
0.5
有效面积（mm2）
返回时，引入一次性全部的供给压力（净化空气/氮气）的全部金额
在真空室中的气氛会引起微粒就可以进入
室。为了防止这种情况，以后慢慢引入的初始空气供给和设置
压力，切换到主阀电路，以提供全款。
请在工作压力范围内使用。
2，泄漏可能会导致当供给压力过0.2
兆帕（G）。当调整在供应方面有压力
调节器等，请采取预防措施以防止压力上升
以防止泄漏的调节器。
3，不要拧紧初始供气流量比任何进一步的
“zui小电源流”的位置，因为这可能会导致组件
损坏，或在增加的时间需要达到的真空
真空室，由于在位移能力的下降
该气藏部分（波纹管室）
型号XVD2-02V XVD2-02S

5×10-9
1.3×10-11
1.3×10-11
对于VCR®
在常温下，不含气体渗透
在常温下，不含气体渗透
1.3×10-10
初始供气
内部
外部
配件
阀门类型
流体
工作温度（℃）
工作压力（帕）
孔口直径（毫米）
泄漏（帕·立方米/秒）
管道连接类型
SMC出气阀，XVD2-02S系统参数